литография оптическая

Термин
литография оптическая
Термин на английском
optical lithography
Синонимы
фотолитография, photolitigraphy
Аббревиатуры
Связанные термины
биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, литография, фоторезист
Определение

технология микроэлектроники; вариант литографии, включающий перенос изображения элементов электронной схемы с маски (шаблона) на полупроводниковую подложку с пленочным покрытием из фоторезиста (материала, чувствительного к облучению светом) с последующим травлением покрытия и легированием подложки через окна в слое фоторезиста

Описание

Обычный материал подложки - кремниевые пластины с окисленной поверхностью. Тонкая поверхностная пленка SiO2 защищает кремний от дальнейшего окисления, служит непроницаемым барьером для большинства примесей и является хорошим диэлектриком. Достоинством системы Si-SiO2 является возможность селективного травления при использовании травителей, действующих только на один из этих двух материалов

.

Фотолитографический процесс включает химическую очистку поверхности подложки от следов различных (органических, ионных, металлических) примесей, окисление очищенной поверхности подложки с созданием защитного слоя SiO2, нанесение на окисленную поверхность тонкой пленки фоточувствительного материала (фоторезиста), экспонирование (облучение) фоторезиста через маску и удаление (травление) негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков. Наиболее часто используют позитивные фоторезисты, позволяющие точнее передавать очень мелкие геометрические детали изображения. В оптической литографии все детали схемы экспонируются одновременно. Пластина кремния с нанесенным рисунком помещается в среду, из которой в кремний через окна в слое фоторезиста вводятся атомы легирующей примеси. Повторение операций окисления, фотолитографии и легирования позволяет селективно вводить атомы легирующих примесей p- и n-типа в очень малые по размеру области на поверхности кристалла. Наименьшие размеры элементов, которые можно получить с помощью классической оптической фотолитографии, принципиально ограничены длиной волны света. Фотолитография с помощью света с длиной волны ~400 нм позволяет серийно изготовлять интегральные схемы с минимальным размером 2-3 мкм, содержащие до 105 транзисторов

.
Авторы
Ссылки
  1. А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Иллюстрации
Основные этапы литографического процесса с использованием позитивного (слева) и негативного (спра

Основные этапы литографического процесса с использованием позитивного (слева) и негативного (справа) фоторезистов

:

(а) окисление и образование поверхностного слоя SiO2; (б) нанесение слоя резиста

;

(в) экспонирование

;

(г) удаление экспонированного позитивного и неэкспонированного негативного резистов

;

(д) протравливание слоя SiO2

;

(е) полное удаление резиста; (ж) легирование кремниевой подложки

.

 (1) подложка из кремния; (2) поверхностный слой SiO2; (3) слой фоторезиста; (4) фотошаблон (маска); (5) область легирования

.

Теги
Разделы
Оптическая литография
Управляемые методы формирования наноструктур
Технология

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Look at other dictionaries:

  • литография рентгеновская — Термин литография рентгеновская Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Литография — Фотография литографского камня и литографии  карты …   Википедия

  • оптическая литография —  Optical Lithography  Оптическая литография   Технология, использующая линзы и свет для точного проецирования и экспонирования изображения маски на покрытую фоторезистом полупроводниковую пластину …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Оптическая литография — Статьилаборатория на чипелитографиямикроморфологияфоторезист (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Рентгеновская литография — Рентгеновская литография  технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей. Описание Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское …   Википедия

  • лаборатория на чипе — Термин лаборатория на чипе Термин на английском lab on a chip Синонимы микросистемы полного анализа, micro total analysis systems Аббревиатуры LOC, µTAS Связанные термины актуатор, биологические моторы, биомедицинские микроэлектромеханические… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • микроморфология — Термин микроморфология Термин на английском micromorphology Синонимы Аббревиатуры Связанные термины агрегат, зерно, кристаллит, макропоры, межзеренная граница, мезопоры, микропоры, морфология, морфология наноструктур, агломерат Определение… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Виды лазеров — Далее приводится таблица параметров наиболее распространённых лазеров различных типов, рабочие длины волн, области применения. Содержание 1 Газовые лазеры 2 Лазеры на красителях …   Википедия

  • Управляемые методы формирования наноструктур — ПодразделыОптическая литографияЭлектронная литографияРентгеновская литографияНаноимпринтинг и травлениеФокусированная ионная резкаПланиризация поверхности, полировкаПоверхностная иммобилизация (химическая пришивка) молекулЛокальные поверхностные… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог …   Википедия

  • Наноантенна — Рис. 1. Спектральная плотность облучения солнечного света. Красная область показывают плотность облучения на уровне моря. Провалы в ней объясняются поглощением света в атмосфере. Наноантенной называется устройство накопления солнечной энергии,… …   Википедия

  • Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем — ПодразделыМетоды нанесения элементов наноструктур и наноматериаловФизические методы (лазерные, электронно лучевые, ионно плазменные) осаждения слоев нанометровых толщинХимическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Лазерная технология —         процессы обработки и сварки материалов излучением Лазеров. В Л. т. применяют твердотельные и газовые лазеры импульсного и непрерывного действия. В большинстве процессов Л. т. используется термическое действие света, вызываемое его… …   Большая советская энциклопедия

  • фоторезист — Термин фоторезист Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография, травление в литографии Определение свето или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

Книги

Другие книги по запросу «литография оптическая» >>